ZhenAn, koje su osnovne metode koje se obično koriste za ispitivanje zrnatosti ciljnog materijala?

ZhenAn, koje su osnovne metode koje se obično koriste za ispitivanje zrnatosti ciljnog materijala?

Ciljni materijali su obično polikristalni, s veličinama zrna u rasponu od mikrona do milimetara. Što su zrna finija, to je veće granično područje zrna i veći je utjecaj na performanse. Za isti materijal mete, mete s finim zrnima imaju bržu stopu raspršivanja nego mete s grubim zrnima. Mete s manjim varijacijama veličine zrna (ujednačena distribucija) proizvode ravnomjerniju distribuciju debljine u raspršenim filmovima. Istraživanja su otkrila da ako se veličina zrna titanijske mete kontrolira ispod 100 μm, a varijacije u veličini zrna se zadrže unutar 20%, kvaliteta rezultirajućeg raspršenog filma može se poboljšati. Značajno poboljšanje.

Tri osnovne metode za ispitivanje ciljne veličine zrna
1. Metoda usporedbe: Metoda usporedbe ne zahtijeva brojanje zrna ili presjeka. Kada se uspoređuje sa standardnom serijom tablica ocjenjivanja, procjena veličine zrna korištenjem metode usporedbe općenito pokazuje određeni stupanj odstupanja (±0,5 razine). Reproducibilnost i ponovljivost procijenjenih vrijednosti obično su ±1 razina.

2. Metoda površine: Metoda površine broji broj zrna unutar poznatog područja i koristi broj zrna po jedinici površine za određivanje stupnja veličine zrna. Točnost ove metode je funkcija izračunate veličine zrna, a pravilnim brojanjem može se postići točnost od ±0,25 razina. Rezultati metode područja su nepristrani, s obnovljivošću manjom od ±0,5 razina. Ključ za određivanje veličine zrna metodom područja leži u brojanju zrna koja jasno omeđuju granice zrna.

3. Metoda presjeka: Broj presjeka izračunava se brojanjem broja presjeka gdje testni segment (ili mreža) poznate duljine siječe granice zrna. Razred veličine zrna određuje se korištenjem broja presjeka po jedinici duljine. Točnost metode presretanja funkcija je broja izračunatih presretanja ili presretanja, a može se postići učinkovitom statističkom analizom. ±0,25 točnost razine. Rezultati mjerenja metode presretanja su-bez pristranosti, a ponovljivost i ponovljivost manje su od razine ±0,5. Za istu razinu točnosti, metoda presjeka ne zahtijeva točno označavanje točaka presjeka ili brojeva presjeka, tako da je brža od metode područja.