Što je metalna meta?

Što je metalna meta?

Ciljni materijal jedan je od glavnih materijala za izradu tankih filmova. Uglavnom se koristi u integriranim krugovima, ravnim zaslonima, solarnim ćelijama, medijima za snimanje, pametnim staklom itd., i ima visoke zahtjeve za čistoću i stabilnost materijala.

Princip rada ciljanog materijala za raspršivanje: raspršivanje je jedna od glavnih tehnologija za pripremu tankoslojnih materijala. Koristi ione koje generira izvor iona za ubrzavanje i skupljanje u vakuumu kako bi se stvorila ionska zraka velike-energetike za bombardiranje čvrste površine. Ioni i atomi na krutoj površini razmjenjuju kinetičku energiju, uzrokujući da atomi na krutoj površini napuste krutinu i talože se na površini supstrata. Bombardirana krutina je materijal za raspršivanje.

Trend razvoja ciljnih materijala je: visoka stopa raspršivanja, kontrola orijentacije zrna, velika veličina i metal visoke-čistoće.

Ciljni materijal je zavaren pomoću "ciljne slijepe" i "leđne ploče".

(1) Prazna meta je materijal mete bombardiran ionskom-zrakom velike brzine. To je temeljni dio materijala mete za raspršivanje i uključuje kontrolu metala visoke -čistoće i orijentacije zrna. Tijekom procesa nanošenja premaza raspršivanjem, nakon što ciljni uzorak pogode ioni, njegovi površinski atomi se raspršuju i raspršuju te talože na podlogu kako bi formirali elektronski tanki film.

(2) Stražnja ploča igra glavnu ulogu u fiksiranju mete za prskanje, što uključuje postupke zavarivanja. Budući da metali visoke -čistoće imaju nisku čvrstoću, cilj za raspršivanje treba biti instaliran u namjenskom stroju kako bi se dovršio proces raspršivanja. Stroj je u okruženju visokog-napona, visokog{5}}vakuma. Stoga se neobrađena meta za prskanje od metala ultra-visoke-čistoće mora spojiti na stražnju ploču različitim postupcima zavarivanja. Stražnja ploča mora imati dobru električnu i toplinsku vodljivost.